扫描电镜(SEM/EDS)
小M
第1楼2014/09/26
按规定来吧,心急吃不了热豆腐
消逝clown
第2楼2014/09/26
是这样的啊,环扫的真空循环是自己设定的么,我现在设定的就是700-1300Pa 循环3次,这些都是我自己设定的,不知道这样搞不搞得定这个腔室的湿度,希望有个比较。
ghf_ghf
第3楼2014/09/26
如果不怕失水,尽可能的让他循环起来,你的设定低位端降一降应该会更好;怕失水就尽可能的不循环,一步到位哈~
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