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【原创】扫描电镜DXS-10

  • wlxsyzxztc
    2010/07/09
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 各位朋友大家好，请教一事

    我单位现有一台上海电子光学研究所生产的dxs-10型SEM,闲置了好长时间，现在想用起来，但是问题很多

    基本部件已经组装完毕，在抽真空时，机械泵抽到一定程度时，打开扩散泵，电源总是报警，不知道哪有问题，恳请各位给予帮助

    或者能否有相关方面的使用手册，不胜感激
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  • linzq

    第1楼2010/07/09

    我过去有一台，估计不是电源报警。是扩散泵冷却水阀门没打开报的警。这个机器有必要恢复吗？很麻烦的，要恢复最好找上海电光所的袁长泰师傅13024184593

    wlxsyzxztc(wlxsyzxztc) 发表:各位朋友大家好，请教一事

    我单位现有一台上海电子光学研究所生产的dxs-10型SEM,闲置了好长时间，现在想用起来，但是问题很多

    基本部件已经组装完毕，在抽真空时，机械泵抽到一定程度时，打开扩散泵，电源总是报警，不知道哪有问题，恳请各位给予帮助

    或者能否有相关方面的使用手册，不胜感激

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  • 社区=冬季=

    第3楼2010/07/15

    最近怎么样了，期待着结果

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  • linzq

    第4楼2010/07/16

    要恢复估计很难。就是恢复了也得不到想要的东西，不如买台新的。哪怕是台式的也好

    冬季(lylsg555) 发表:最近怎么样了，期待着结果

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  • 大雄

    第5楼2010/08/06

    既然用扩散泵,我想冷却水是你需要检查一下的.
    再者监察报经得来源是否出在什么地方?

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  • linzq

    第6楼2010/08/10

    这个机器的报警只有冷却水报警。不过我估计冷却水应该会开得，所以判断为阀门没有打开，那个继电器或阀门坏了。

    totti821026(totti821026) 发表:既然用扩散泵,我想冷却水是你需要检查一下的.
    再者监察报经得来源是否出在什么地方?

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