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【求助】SEM的能谱能准确测微晶硅薄膜中的氢、氧含量吗?

  • kongkongdao
    2006/09/14
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • SEM的能谱能准确测微晶硅薄膜中的氢、氧含量吗?
    请前辈指教
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  • 怪味陈皮

    第1楼2006/09/14

    肯定不行,轻元素是EDS的大敌。

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  • 共工

    第2楼2006/09/14

    只能作 氧的定性, 不能定量。
    氢是无能为力的, 建议求助于化学方法。

    kongkongdao 发表:SEM的能谱能准确测微晶硅薄膜中的氢、氧含量吗?
    请前辈指教

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  • hangk2006

    第3楼2006/09/23

    能谱对氢基本上无能为力

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  • R.F.L.

    第4楼2006/09/25

    有些能谱 据说可以测到Be, H肯定是没戏。

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  • skyhunter

    第5楼2006/09/26

    是的,氢是无法测量的,氧应该还可以

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  • qianshuiyizu

    第6楼2006/09/27

    超薄窗口可以从Be开始,只能定性分析。

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  • jzhx68

    第7楼2006/09/30

    氢核外只有一个电子,不可能产生电子的跃迁,所以没有X光子产生,不能进行能谱分析。
    氧是轻元素,只能进行定性分析,虽然很多能谱软件都有轻元素的校准软件,但结果也是自己知道。

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