小白问题：扫描电镜配上能谱和波谱为什么不能取代电子探针？

波谱对计数率需求大，扫描电镜功率低，满足不了波谱。

我百度了下，好多扫描电镜不是也配了波谱吗？呵呵。

波谱还是要在大功率大束流下使用效果才好。类似XRF领域，也有大功率的波长色散型和小功率的能量色散型，但是没有厂家将波长色散结构装上小功率的X射线管。理论上扫描电镜也可以配波谱，就像理论上法拉利也可以配个1.0的发动机，可是用起来能爽吗？哈哈。

应助达人

想来也只可能是因为波谱分析需要大束流，然而大束流会导致分辨率低。所以扫描电镜侧重于图象，分析是附带的；电子探针侧重于分析，图象是附带的。

看来图像和成分的需求是互驳的，要想两者都满足，还是很难的，要是这两者都满足了，扫描电镜和电子探针就合二为一了。

这是关键。大束流才能带来更高的灵敏度。
另外，SEM上配备的WDS，通常是一个通道四块晶体，
而EPMA一般是4~5个通道，效率差好远。
SEM+WDS国内用户不多，能用好的就更少了，而且，仪器出问题的概率貌似很大。

楼上说的确切，
扫描电子探针就是扫描电镜加上多道波谱，需要稳定的工作条件。
如果扫描电镜加上多道波谱，并且对稳定性提出更高要求，那就是扫描电子探针了，价格也即是电子探针的价格了。
至于，分辨率差异，主要是使用的操作条件不同造成的，仪器本身没有实质差别。

扫描电子探针基本都是有标样定量分析。
扫描电镜基本都是无标样定量分析。

我想到这几个因素：

一、束流：束流有两个要求：
1、大，能够激发足够多的信号，尤其是轻元素；有些可以达到 0.1mA。
2、稳，在测试的时间内变动越小越好。钨灯丝可以达到12小时变化率在0.3%以内。

二、位置：EPMA设计有光学显微镜，利用其窄景深来确定样品的表面所在。

EPMA的分辨率也可以达到SEM的一半左右。我觉得EPMA是以SEM为基础，增加一些设计达到提高分析精度的目的，反过来再要求SEM替代EPMA，可能要提高SEM的成本，或者降低分析精度。

大家讨论很不错。最早的扫描电镜，几乎就是电子探针。后来分道扬镳了。
详细评述见“扫描电镜测长问题的讨论”一书中的有关论述。