【求助】SEM 能用来标定外延膜的厚度么？

应该可以相对准确的测量，不知道你能够允许的误差有多大？如果不关心形貌，据我了解x-ray能谱仪具有测厚软件，能够同时准确测量纳米尺度的多层不同材质的厚度，测试速度快。
请参考。
http://www.sic.ac.cn/selfweb/ketizu/lixiaoming/research.htm

是可以做的．样品最好导电．40nm是可以看到的，不知道你用的是什么电镜，因电镜而异．一般像日本电子的可以在１０个nm左右，飞利普在１个nm以下可以看到，要看ＳＥＭ具体的型号

那再问下您x-ray能谱仪,物理所应该有吧,一般这种测试一小时多少钱?

有按照小时收费的，也有按照样品收费的。你需要用场发射扫描电镜，可能得贵得多。
一般钨灯丝100元/样品。
因为都是事业单位，不盈利，因此价格比较便宜。

可以，但是要注意1.样品最好导电，2.能做出整齐的断面，3.使用高分辨SEM，4.在电镜下能区分外延膜和基底。
一次做不出来不要灰心，多试几次。
祝你幸运

我觉得也是啊，能在电镜下区分出外延膜和基底应该是可以的