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高手帮我解决日本电子6700F问题。

xiao乒乓

2015/03/17

扫描电镜（SEM/EDS）

我用的日本电子的JSM-6700F,为什么在重新打开软件，弹出是否初始化，我点yes。但每次X，Y初始化的都挺快的，但R一直转啊转啊，就是停不下来。我再关闭软件再初始化有时候还是很慢，有时候挺快到0。
还有一个问题。为什么做有些样品时雪花很大呢？总感觉调不清楚。

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sunnysky

第1楼2015/03/20

这个可能是马达驱动单元不良或R轴传感器不良。至于有的样品雪花点大，一个可能是观察条件各不相同，如果都相同的话，导电性差的样品和表面形貌相差很小的样品，雪花点会相对大些
xiao乒乓(wyp850401) 发表:我用的日本电子的JSM-6700F,为什么在重新打开软件，弹出是否初始化，我点yes。但每次X，Y初始化的都挺快的，但R一直转啊转啊，就是停不下来。我再关闭软件再初始化有时候还是很慢，有时候挺快到0。
还有一个问题。为什么做有些样品时雪花很大呢？总感觉调不清楚。

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xiao乒乓

第2楼2015/03/20

sunnysky(sunnysky) 发表: 这个可能是马达驱动单元不良或R轴传感器不良。至于有的样品雪花点大，一个可能是观察条件各不相同，如果都相同的话，导电性差的样品和表面形貌相差很小的样品，雪花点会相对大些
如果说驱动和传感器不良的话，R的数值也会一直在变吗，一圈一圈的变？有一次转了一晚上第二天早上还在转，只能关闭软件重新启动。这样第三次一般比较快的到达出事位置。

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fengyonghe

第3楼2015/03/20

雪花多可以从三个原因找问题，束流小、二次电子探测器电压低、样品原因。

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sunnysky

第4楼2015/03/23

R轴马达的传感器在样品室内部，需要打开样品室调整，需要工程师到现场来做，您可以报修
xiao乒乓(wyp850401) 发表:

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小M

第5楼2015/03/31

应助达人

雪花大是噪点多，相应的就是二次电子的产率低。冯老师说的都是二次电子产率低的可能原因。
如果这些条件都已经最优化，那么还可以考虑在扫描成像的时候调慢扫描速率（即延长扫描时间）
fengyonghe(fengyonghe) 发表:雪花多可以从三个原因找问题，束流小、二次电子探测器电压低、样品原因。

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