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分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?

依风1986

2015/04/22

气质联用（GCMS）

分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?

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symmacros

第1楼2015/04/22

应助达人

分子泵与扩散泵都是后级泵，只有机械泵是前级泵。分子泵的效率比扩散泵高。

0

分
该帖子已被版主-tang566加2积分，加2经验;加分理由:解答

依风1986

第2楼2015/04/23

应助达人

具体这两种泵有何区别？后级泵具体意思？
symmacros(jimzhu) 发表:分子泵与扩散泵都是后级泵，只有机械泵是前级泵。分子泵的效率比扩散泵高。

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千层峰

第3楼2015/04/24

现在很少用扩散泵了

0

依风1986

第4楼2015/04/24

应助达人

为什么啊？不过GCMS一般都是机械泵与分子泵
千层峰(jxyan) 发表:现在很少用扩散泵了

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tang566

第5楼2015/04/25

应助达人

分子泵与扩散泵是同样的作用，只是抽气原理不同？
symmacros(jimzhu) 发表:分子泵与扩散泵都是后级泵，只有机械泵是前级泵。分子泵的效率比扩散泵高。

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tang566

第6楼2015/04/25

应助达人

扩散泵有返油风险
依风1986(xurunjiao5339) 发表: 为什么啊？不过GCMS一般都是机械泵与分子泵

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symmacros

第7楼2015/04/25

应助达人

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symmacros

第8楼2015/04/25

应助达人

前级泵-机械泵（旋转泵，极限真空10-2 - 10-4torr)

高真空-油扩散泵、分子涡轮泵（极限真空10-5 - 10-10torr)

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ruan651209

第9楼2015/04/25

分子泵开始工作时，前级真空约为数百到千把毫乇，T家。

分子泵的极限压力是：超短时间直通大气（就是泵叶片变形严重，但还没有断裂或碰撞到相邻定片的极限）。

长时间通大气肯定毁了，过限了。

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千层峰

第10楼2015/04/25

扩散泵容易返油。。。
依风1986(xurunjiao5339) 发表: 为什么啊？不过GCMS一般都是机械泵与分子泵

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