随着纳米技术的逐渐成熟，人们迫切的希望能够像对宏观样品进行机械加工那样，对纳米尺寸的材料也能够进行人工操作，进而更深入的认识纳米材料的形貌以及相关性能。在这样的背景下，被称为那“纳米手术刀”的聚焦离子束系统应运而生了。 聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)的系统是利用静电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微加工仪器。通过荷能离子轰击材料表面，实现材料的剥离、沉积、注入和改性。现代先进FIB系统为双束，即离子束+电子束（FIB+SEM）的系统。在SEM微观成像实时观察下，用离子束进行微加工。
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