扫描电镜(SEM/EDS)
thanks
第1楼2009/10/10
fengyonghe
第2楼2009/10/10
请你检查一下动态聚焦是否误操作了。
驰奔
第3楼2009/10/10
动态聚焦不经常用,但确实有可能。如果不是的话就得查电路了!
RoadCH
第4楼2009/10/10
请问电镜型号是S-4800 I型吗?在看10万倍以上的高倍图像时,先把Stage Lock按钮按上(记住在解锁之前不要动T轴和Z轴旋钮)。当然这种现象也不排除样品在电子束轰击下导致移动的可能性,找一个粘得结实铜网样品试一试,或者直接拍摄样品台,看看会不会有这种现象,如果还有,请联系当地的维修工程师吧。
第5楼2009/10/11
请教动态聚焦是哪个按钮?样品本身没有问题。以前经常做类似的样品,都非常好。只是最近出了很多问题。如果是电路的问题,估计是哪部分呢?
第6楼2009/10/11
动态聚焦主要用于平坦样品大角度倾斜时,超过焦深部分的聚焦修正,一般修正范围可调节,用完后归零,否则平坦样品上下可能离焦。不同型号机器按钮或按钮位置可能不固定,只能慢慢找找了,dynamic focus 按道理应该在聚焦旋钮位置附近。电路问题,具体需要维修工程师诊断!
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