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电镜不同束斑尺寸下,光阑对中?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我现在所用的蔡司电镜(型号:evo ma25),工作单位主要拿来做一些能谱检测,对于图像分辨率要求相对较低,束斑尺寸给的基本为给定束流条件下,束斑尺寸的最大值。但现在放大倍率在1.5kX下图像就基本无法获得较高分辨率。
    我想调整下电子枪设置,但发现一旦缩小束流尺寸,图像噪音增加严重,而且光阑对中发生明显偏斜,继续缩小光斑都会看不到灯丝像。
    在此请教下各位前辈,为什么调整束斑大小后,光阑对中会发生偏斜。
    另外,如果新换灯丝后重新调整对中,应当使用怎样的电子枪设置来获得较为理想光阑对中效果呢。小束流,小尺寸光斑么。还是不同束流条件下要重新调整光阑对中。这种情况下用工作站的软件(调整shift tilt)调整,还是用电镜镜筒上的光阑调节杆来进行调节。
    本人刚接触电镜操作一周,对于很多使用上的问题理解还不够到位,在此恳请有经验的网友前辈能指点一二。
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  • 仙后婧婧(谭思婧)

    第1楼2015/07/31

    刚操作一周就这么懂,真厉害,同是小白帮你顶一下吧

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  • fengyonghe

    第2楼2015/07/31

    最经常的操作是在最小放大倍数下调整机械对中shift tilt

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  • allen8100

    第3楼2015/07/31

    这样的话,束流的尺寸大小还有电子束流的电流要设置成怎样的一种状态才能保证绝对对中呢。。
    还是本来改变束流尺寸大小就要重新对正光阑

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:最经常的操作是在最小放大倍数下调整机械对中shift tilt

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  • allen8100

    第4楼2015/07/31

    没办法,自己实验时间比较紧张就只能硬着头皮上了

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:最经常的操作是在最小放大倍数下调整机械对中shift tilt

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  • fengyonghe

    第5楼2015/07/31

    正常的电镜只需换灯丝后调整一次,

    allen8100(allen8100) 发表: 这样的话,束流的尺寸大小还有电子束流的电流要设置成怎样的一种状态才能保证绝对对中呢。。
    还是本来改变束流尺寸大小就要重新对正光阑

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  • 驰奔

    第6楼2015/08/01

    其实并不是所有电镜都这样,有好有坏。

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  • allen8100

    第7楼2015/08/01

    我纳闷的是不是我选定的电子枪条件导致我目前的光阑对正只是偶然的对正呢?
    还是束流尺寸发生改变的话,束流的中心点位本来就发生变化呢?
    难道每次调整电子枪的设置,比如束流尺寸,束流大小,加速电压情况都需要重新对正光阑么?
    这台电镜的问题是,如果改变电子枪参数,甚至都需要调整可变光阑的机械杆进行对正光阑。。

    驰奔(srd2009) 发表:其实并不是所有电镜都这样,有好有坏。

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  • fengyonghe

    第8楼2015/08/01

    电镜需要检修了,一个旋钮调节电压,影响了其他的电压值,这是不正常的。

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  • allen8100

    第9楼2015/08/02

    如果想获得一个比较理想的光阑同轴效果的话,电子枪要怎么设置比较利于光阑同轴呢?束流大点还是小点,束斑尺寸还有加速电压的大小会不会对于光阑同轴对中有不利影响呢?。
    另外,目前所用的钨灯丝使用已经接近160小时了,会不会是灯丝寿命即将终止的原因导致的问题?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:电镜需要检修了,一个旋钮调节电压,影响了其他的电压值,这是不正常的。

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  • allen8100

    第10楼2015/08/02

    我花了一中午的时间重新调整了光阑同轴,试了一下发现没有问题了。
    可能是之前调整同轴的时候没有把tilt 还有shift归零的问题。
    BUT,再也不要让我来调这个了,没有图像指导,感觉就是在碰运气。。。

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:电镜需要检修了,一个旋钮调节电压,影响了其他的电压值,这是不正常的。

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