能谱EDS检测限一定比XRF检测限低吗？

我用的是JOEL钨灯丝扫描电镜，20KV,12mm工作距离条件下做的EDS，用的是牛津的INCA分析软件。聚乙烯膜中含有0.1％的SiO2，我还是测到了很小的一个Si峰，放大做精细谱就没有最好点了，定量结果是0.04％，我怀疑测试已经不准了，报告里面没有标注Si的峰。不知道对不对，请大家踊跃发言！呵呵

EDS应该达不到0.04%的灵敏度。所测峰高不能明显高于背底噪音信号时，更不可轻易相信软件计算值。

很想学习这方面的知识

很同意2楼的意见，一般元素的检测限在0.X％，而且EDS对轻元素没有重元素灵敏。 软件甚至可以给出负的元素百分含量

有收获！我是刚刚接触能谱，现在用的热电的，准备换牛津的。热电的这个有点差，方解石的C峰都出不来。郁闷。希望多多交流学习。

这观点应该是可以肯定的!

你用的是牛津的能谱吗？在导航器定量分析那一步，选择 “谱图处理 ”，看看Si的峰的面积是不是大于3倍的Sigma。如果是，那么Si肯定存在，只是由于含量较低，误差会比较大而已。这么低的含量，误差大是很正常的，但定性还是没有问题的。不过0.1跟0.04差的也多了点。可能跟你的样品是PE有关系，大部分是C，氢测不出来。你在“定量设置”这一步，选择差额分析，把C选上试试，看有没有改进。反正C对你不重要。
另外想对含量较低的元素的测量时，建议把活时间加长，如高至1,000秒。这样可能会有改进。

谢谢所有楼上兄弟的帮助！
独孤9剑的建议我一定试一下，不瞒你说，对于你说过的INCA功能我都没仔细看过。我没有受过供应商培训，更没有自己好好看看menu。来现在的公司以后杂七杂八的事情多了，时间没安排好。
跑题了，谢谢大家！