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【原创】EDS的工作距离

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 在用SEM佩戴的EDS做样品成分分析时,要选择合适的工作距离,譬如做定量分析要求工作距离是5mm,请问这个5mm是什么意思,依靠什么定义出来的?如果选用其它的工作距离是不是定量就不准确了?

    如果想要把eds的工作距离改到7mm,需要做什么仪器方面或软件方面的调整,谢谢?
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  • 小M

    第1楼2011/06/23

    应助达人

    直接降到7mm就可以了,但是估计CPS不够

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  • fengyonghe

    第2楼2011/06/23

    通过调整探测器的摇出位置来调整它的工作距离,当计数率最大时就是正确的位置。
    下面是示意图:

    happydfli(happydfli) 发表:在用SEM佩戴的EDS做样品成分分析时,要选择合适的工作距离,譬如做定量分析要求工作距离是5mm,请问这个5mm是什么意思,依靠什么定义出来的?如果选用其它的工作距离是不是定量就不准确了?

    如果想要把eds的工作距离改到7mm,需要做什么仪器方面或软件方面的调整,谢谢?

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  • 驰奔

    第3楼2011/06/24

    大部分用户使用固定工作距离,这样操作比较容易,但楼主提出的特殊需要可能有原因,事实上很多用户都会在不同的条件下进行分析。冯先生给出最根本原则的指导,体现出极高的专业素养,赞一个!
    我简单补充一下专家认为大家都知道的:EDS定性分析不需要精确地给出探测器采集条件参数,但EDS定量分析,是靠采集的数据和标样比对, 一般标样库数据是在固定操作条件下采集的数据,针对探测器在不同型号电镜安装角度和探测距离,数据都要做相应修正。在EDS安装初始化时,厂家给你设定了最佳工作距离里为5mm,是默认的。如果你要改变工作距离,其实不光是工作距离,包括探测器远近,还有加速电压,探针束流值等条件都需要输入能谱采集条件的,程序会自动修正标准数据。这样你的定量分析结果才尽可能的准确。

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:通过调整探测器的摇出位置来调整它的工作距离,当计数率最大时就是正确的位置。
    是通过调整摇出距离来调整工作距离。当计数率最大时就是正确的位置。下面是示意图

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  • asahi42

    第4楼2011/06/25

    深刻!学习了学习了~~

    驰奔(srd2009) 发表:大部分用户使用固定工作距离,这样操作比较容易,但楼主提出的特殊需要可能有原因,事实上很多用户都会在不同的条件下进行分析。冯先生给出最根本原则的指导,体现出极高的专业素养,赞一个!
    我简单补充一下专家认为大家都知道的:EDS定性分析不需要精确地给出探测器采集条件参数,但EDS定量分析,是靠采集的数据和标样比对, 一般标样库数据是在固定操作条件下采集的数据,针对探测器在不同型号电镜安装角度和探测距离,数据都要做相应修正。在EDS安装初始化时,厂家给你设定了最佳工作距离里为5mm,是默认的。如果你要改变工作距离,其实不光是工作距离,包括探测器远近,还有加速电压,探针束流值等条件都需要输入能谱采集条件的,程序会自动修正标准数据。这样你的定量分析结果才尽可能的准确。

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  • 小M

    第5楼2011/06/28

    应助达人

    专业!

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:下面是示意图:

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  • lich_dc

    第6楼2011/07/06

    牛逼闪闪的人很多

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  • 网海无涯

    第7楼2011/07/07

    一般斜插式探测器由于仪器中相对位置被固定,建议把fengyonghe先生答复的用图做下面的改进,更准确地理解斜插式EDS探测器探测不同工作距离时产生的发射角及其可能的ZAF修正差别。

    示意图:

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  • fengyonghe

    第8楼2011/07/08

    这两张图都是对的。

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  • ventyxu

    第9楼2011/12/10

    做EDS分析时,工作距离的选定其目的就是能够收集到更多的X-RAY光子。

    happydfli(happydfli) 发表:在用SEM佩戴的EDS做样品成分分析时,要选择合适的工作距离,譬如做定量分析要求工作距离是5mm,请问这个5mm是什么意思,依靠什么定义出来的?如果选用其它的工作距离是不是定量就不准确了?

    如果想要把eds的工作距离改到7mm,需要做什么仪器方面或软件方面的调整,谢谢?

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