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【姚文清专家系列讲座】 2015年10月26日第二讲：俄歇电子能谱中的化学信息

网络讲堂

2015/09/07

XPS及其它能谱仪

【专家讲座】：俄歇电子能谱中的化学信息
【讲座时间】：2015年10月26日 14:00

【主讲人】：姚文清（高级工程师。国家大型科学仪器中心—北京电子能谱中心副主任，清华大学分析中心表面分析室主任。先后获得北京理工大学工学学士和清华大学工程硕士，并做为高级访问学者到访香港理工大学访问研究。。）

【会议简介】
俄歇电子能谱法（AES）是最广泛使用的分析方法之一，其优点是：在表面以下0.5-2nm范围内化学分析的灵敏度高、数据分析速度快、可以分析除氢氦以外的所有元素。俄歇电子能谱法现已发展成为表面元素定性、半定量分析、元素深度分布分析和微区分析的重要手段。新型的俄歇电子能谱仪具有很强的微区分析能力和三维分析能力，其微区分析直径可以小到6nm，大大提高了在微电子技术及纳米技术方面的微分析能力。相对于XPS，AES其检测极限约为10^-3原子单层，其采样深度为1～2nm，比XPS还要浅，更适合于表面元素定性和定量分析。配合离子束剥离技术，AES还具有很强的深度分析和界面分析能力，常用来进行薄膜材料的深度剖析和界面分析。且由于AES采用电子束，束斑非常小，因此进行微区分析时具有很高的空间分辨率，可以进行扫描并在微区上进行元素的选点分析、线扫描分析和面分布分析。此外，俄歇电子能谱仪还具有很强的化学价态分析能力，不仅可以进行元素化学成分分析，还可以进行元素化学价态分析。俄歇电子能谱分析是目前最重要和最常用的表面分析和界面分析方法之一。由于具有很高的空间分辨能力（6nm）以及表面分析能力（0.5-2nm），因此，俄歇电子能谱尤其适合于纳米材料的表面和界面分析，在纳米材料尤其是纳米器件的研究上具有广阔的应用前景。

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1、报名条件：只要您是仪器网注册用户均可报名参加。

2、报名截止时间：2015年10月26日 13:30

3、报名参会：http://www.instrument.com.cn/webinar/meeting/meetingInsidePage/1547
4、报名及参会咨询：QQ群—379196738

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