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扫描电镜设备参数中有无电子束流稳定度?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 扫描电镜设备参数有无电子束流稳定度?
    电子束流稳定度是SEM必要参数吗?
    是不是对于场发射是必要参数?而对钨灯丝电镜就不是必要的吗?
    本人现在负责论证一台SEM,但是了解的不是太深入,还请有经验的给指点指点,谢谢
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  • liujunhit

    第1楼2015/11/17

    没有专家知道吗?

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  • fengyonghe

    第2楼2015/11/17

    只要是做能谱定量分析,无论哪种型号的SEM都要求束流不稳定度不超过±1%

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  • 拱廊

    第3楼2015/12/08

    束流稳定性的单位 n%/h 到底是什么意思呢?是扫描区域的整体偏移吗?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:只要是做能谱定量分析,无论哪种型号的SEM都要求束流不稳定度不超过±1%

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  • fengyonghe

    第4楼2015/12/08

    第一次看到这个单位

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  • 驰奔

    第5楼2016/03/20

    是电子枪发射电流每小时的偏差。按说应该是末级探针电流每小时的偏差,但需要专门装置,对终端用户来说,监测一下电子枪发射电流就可以了。
    这个指标对扫描电镜日常形貌观察没啥意义,如束流稳定性,每分钟甚至每秒都能变化1%,就没法用了,冷场电子枪flash前后,可能感觉很深刻。
    对于现代扫描电镜配套的SDD探测器能谱仪,做一个点分析也就几秒钟完事了。你要把谱图做的非常漂亮,做的非常精细也就几分钟,正常情况下没啥影响。
    但是,如果做扫描电镜SEM波谱WDS,尤其元素面分布,那就有意思了,因为做一个分析,可能需要几个小时。如果束流飘移量超过一定程度,前后结果可能就不同了。

    拱廊(v3052164) 发表: 束流稳定性的单位 n%/h 到底是什么意思呢?是扫描区域的整体偏移吗?

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  • fengyonghe

    第5楼2016/03/28

    通过仪器自带的程序可以检测到束流不稳定度,要求不大于±1% 。n%/h应该是计数率每小时偏差的百分数。定量分析要求每两小时最优化一次,以保证cps偏差不大于±1% 。n%/h用不到。

    拱廊(v3052164) 发表: 束流稳定性的单位 n%/h 到底是什么意思呢?是扫描区域的整体偏移吗?

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