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【求助】SEM制样过程中怎么样抛光?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 最近在学SEM制样,主要是做cross-section,用4000目的砂纸研磨后再用0.3和0.05MIC的氧化铝抛光液抛光,但是一直有划痕,如图:



    但是我看到有些人能抛的非常光滑,效果如图:

    所以想请教一下有没有别的方法能抛出如上图的效果。希望各位大侠不吝赐教!非常感谢!

    因工作需要,不得不把图片删去,谢谢理解!
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  • jackyzhao

    第1楼2009/03/27

    可以用离子束 Etching来做

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  • forzamarco

    第2楼2009/03/27

    发一张离子研磨的效果图给你,更多的图已经发到你的邮箱里了.这张图是用IM-3000研磨的.时间只用了2分钟,所以不存在我之前的帖子里有的板油说太慢的问题.

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  • luing993

    第3楼2009/03/27

    [quote]原文由 forzamarco 发表:发一张离子研磨的效果图给你,更多的图已经发到你的邮箱里了.这张图是用IM-3000研磨的.时间只用了2分钟,所以不存在我之前的帖子里有的板油说太慢的问题.

    您是纯好人,呵呵,虽然我抛光的技术不错,但是效果比离子研磨还是差的多啊。研磨2分钟的效果比我抛光十几分钟都好啊。
    谢谢

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  • golf

    第4楼2009/03/31

    不错 好图
    离子研磨很贵的吧?

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  • luing993

    第5楼2009/03/31

    非常贵,已经超出了预算。比我预想的要贵一倍多

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