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电镜界面系统真空抽不上去

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 今天早上实验室,发现真空泵已经停止工作。电镜界面系统真空状态灰色,枪真空状态为黑色正常。重新PUMP,过几分钟真空泵就又自己停止工作。
    请教大家,这种是什么情况?谢谢
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  • m3079069

    第1楼2016/01/27

    什么品牌SEM,有查过分子泵有没有问题。

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  • fengyonghe

    第2楼2016/01/29

    分子泵还是扩散泵?

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  • allen308

    第3楼2016/02/01

    哪个牌子的SEM?
    有可能分子泵有问题了,我们的类似的问题,已经换过一个分子泵了。

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  • xiehu

    第4楼2016/02/02

    我们这个是磁悬浮分子泵的,请问换一个分子泵得多少钱。

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  • xiehu

    第5楼2016/02/02

    型号是蔡司的sigma场发射扫描电镜

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  • allen308

    第6楼2016/02/04

    这样的泵不便宜,咨询一下蔡司的工程师吧。

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