如何用EDS区分两个异质结构

期待专家解答

十几个nm是可以区分的，2100有个eds模式，可以将光斑汇聚，最小是0.5nm，但是太小的光斑产生的信号也弱，eds误差很大，所以适当选择大一号的光斑，用eds做能谱时需要注意，轴一定要合好，eds和tem模式切换时，其中心位置最好是固定的，比如选择10nm的光斑，实际有效激发信号区域可能是20或30nm的区域

谢谢解答，有点明白了，也就是说理论上0.5nm的光斑实际真正会聚到样品上的时候一般激发区会大一些，10nm，20nm的光斑同样也会如此，“

用eds做能谱时需要注意，轴一定要合好，eds和tem模式切换时，其中心位置最好是固定的”，这一点实际在做的时候，TEM模式已对中好，切换到EDS的时候中心位置总会有点偏，那么再在EDS模式合轴应该不会影响到TEM的合轴了吧，EDS下的合轴与TEM有何区别，一般要注意哪些要点？TEM模式下我们常做的就是聚光镜光阑的对中，偶尔1-5合轴

最重要的是电压中心，EDS模式下能调的是电压中心和象散

如果中心位置会偏的话，找聚焦光斑的时候要注意中心是否是你要观察的区域

谢谢，但之前的聚光镜合轴还是需要做的吧，做完之后再调Z轴高度和电压中心，是这样否，这个不会再影响到TEM下的合轴吧

在TEM模式按正常步骤合轴后，eds下不要聚光镜合轴，如果调整z轴肯定会影响tem模式的，聚光镜和象散是需要两个模式下切换调整。其实eds和cbed模式相似，可以按照cbed模式的方式来条件。