EDS问题请教

应助达人

在处理 EDS 数据时，如果样品中本身不含有 Al 元素，但在能谱中手动添加后在 mapping 图中看到了 Al 元素明显的轮廓，可能是因为测试所使用的仪器（如 SEM）的样品台含有 Al 元素。

SEM 通常使用 Al 样品台，当对样品进行扫描时，在样品比较薄的区域，有可能会检测到来自样品台的 Al 信号，从而在 mapping 图中显示出 Al 元素的轮廓。尽管样品本身不含 Al，但来自样品台的 Al 信号会被误认为是样品中的元素。

为了避免这种情况对实验结果的干扰，在进行 EDS 测试和数据分析时，需要清楚了解实验设备的特点和可能带来的影响，并对结果进行合理的判断和解释。同时，确保样品的制备和处理过程符合要求，以减少外部因素对测试结果的影响。如果对测试结果的准确性有疑虑，可以考虑采用其他分析方法进行验证或对比。