水清鱼读月
第8楼2016/06/06
帮你查了一下ICDD的PDF卡片库,β-Si3N4对应的卡片编号是33-1160,其三强峰位在27.0°、33.7°、36.0°(Cu靶)
当然,上述角度是体材料的衍射峰,薄膜因为是二维材料,有些峰会不出现的。
薄膜衍射是指入射角度小,比如0.5°、1°甚至更小,衬底的信号不进入检测器的情况。比如你做的样品,玻璃衬底没有出峰,不锈钢衬底的有峰,但是这个峰很可能是不锈钢的峰,而不是氮化硅的峰。
你现在的问题是,你也不清楚自己做的这个样品有没有结晶。不同的温度退火处理一下看看呢。