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EDX能谱测量准确性？

  • dingdangyu1030
    2016/09/01
    • 私聊

透射电镜（TEM）

  • 操作中总是遇到这几个问题，但不知道原因，求答案。
    1. 透射电镜中EDX测出Cu是什么鬼？
    特别是用Cu网的时候，过去总说是因为Cu网，但是电子束明明离Cu网老远，在C膜的中心，为什么会有Cu的信号？
    2.同样的样品，SEM测试结果更符合预期？
    谢谢
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    +关注 私聊

  • 蓝莓口香糖

    第1楼2016/09/01

    Cu信号主要是由照明光路产生的硬X射线激发的，照射范围相当大。

0
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  • wjianna

    第2楼2016/09/05

    只要用了铜网，铜峰就免不了出现！虽然你没有直接将电子束打在铜网上，散射电子是避免不了的。

    第二个问题是关于定量分析。
    能谱的定量分析受很多因素的影响，即使扫描电镜中的测试结果准确性也要看具体情况。
    透射电镜中的能谱影响因素也很多，本来就不能用于定量分析，充其量只能是半定量。

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    +关注 私聊

  • dingdangyu1030

    第3楼2016/09/05

    谢谢蓝莓版主

    蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:Cu信号主要是由照明光路产生的硬X射线激发的，照射范围相当大。

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  • dingdangyu1030

    第4楼2016/09/05

    谢谢您的回复

    wjianna(wjianna) 发表:只要用了铜网，铜峰就免不了出现！虽然你没有直接将电子束打在铜网上，散射电子是避免不了的。

    第二个问题是关于定量分析。
    能谱的定量分析受很多因素的影响，即使扫描电镜中的测试结果准确性也要看具体情况。
    透射电镜中的能谱影响因素也很多，本来就不能用于定量分析，充其量只能是半定量。

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