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【讨论】样品室抽真空时间越来越长是什么原因?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我们现在用的是日产的JSM-5610电镜,但最近发现样品室抽真空时间越来越长,直至最后不能抽真空,向厂家咨询后,调节主板上的一个小旋钮,问题解决.但过一段时间后又出现同样的问题.请问哪位高手能帮忙解决一下.谢谢!
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  • gpdx

    第2楼2006/11/16

    我没碰到过这种情况,不知道是不是样品室污染了.
    后面的高手来回答!

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  • teufelmond

    第3楼2006/11/17

    就我所知道的是:
    因为仪器使用过一段时间以后,会出现漂移的情况,象您所说的那样,厂家让您调节的那个旋钮就是真空控制方面的,因为抽真空时首先是RP泵工作,当电压达到一定程度的时候就会改为DP泵工作,这个点的电压高低影响的其实只是RP泵和DP泵的转换问题.所以造成直观的现象就是:HT灯总是灰色的等待状态,显示真空一直没有达到.

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  • zhoxjjj

    第4楼2006/11/20

    你说的很有道理,谢谢!

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  • r51755

    第5楼2006/12/11

    是否应该先检查仪器的真空状态是否正常,包括机械泵和扩散泵的状态,样品室及电子枪室的密封状态,必要时可以利用真空计检查仪器的实际真空值。调整线路板的小旋钮(电位器)只是微调真空控制系统的切换点。仅供参考。

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  • semuser

    第6楼2006/12/12

    这个问题其实很简单,别的厂家就不会有这种事:
    样品室的高真空应该是由真空检测规测量出来的,然后由真空逻辑控制板检测是否达到开高压的允许值,这样抽真空时间只由真空系统的状态和样品出气情况决定;
    但电子偏偏潘宁规是选配,不装的话不能测出高真空达到没有,所以只能做一个延时电路,估计时间到了,然后可以打开高压,这样有两个麻烦,一是真空可能没到,比如有漏气、真空泵工作不正常,打开高压肯定出事;二是延时电路老化,越往后延时越长,只能隔几年调一次电阻,不然的话,虽然真空早到了,抽半天也不让你开高压。

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  • cslj

    第7楼2006/12/12

    受教了,测量仪器反馈不爽的事情屡屡让人头痛

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  • gouzi

    第8楼2006/12/17

    值得学习!!!!!!!1

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  • 共工

    第9楼2006/12/18

    同意您的看法,日本电子的电镜, 还有不只是日电的, 可能所有的日货电镜都有这个真空读数毛病,像我用过的TOPCON电镜。

    semuser 发表:这个问题其实很简单,别的厂家就不会有这种事:
    样品室的高真空应该是由真空检测规测量出来的,然后由真空逻辑控制板检测是否达到开高压的允许值,这样抽真空时间只由真空系统的状态和样品出气情况决定;
    但电子偏偏潘宁规是选配,不装的话不能测出高真空达到没有,所以只能做一个延时电路,估计时间到了,然后可以打开高压,这样有两个麻烦,一是真空可能没到,比如有漏气、真空泵工作不正常,打开高压肯定出事;二是延时电路老化,越往后延时越长,只能隔几年调一次电阻,不然的话,虽然真空早到了,抽半天也不让你开高压。

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  • xuexiren

    第10楼2006/12/29

    其实使用后都有这样的问题,日本电子、日立、飞利浦的。

    renxin 发表:同意您的看法,日本电子的电镜, 还有不只是日电的, 可能所有的日货电镜都有这个真空读数毛病,像我用过的TOPCON电镜。

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  • fftao812

    第11楼2007/04/16

    正确!!
    真空达到与否或RP,DP何时转换应该由真空检测规(皮拉尼规或潘宁规)检测决定,看来JEOL偷工减料了!

    semuser 发表:这个问题其实很简单,别的厂家就不会有这种事:
    样品室的高真空应该是由真空检测规测量出来的,然后由真空逻辑控制板检测是否达到开高压的允许值,这样抽真空时间只由真空系统的状态和样品出气情况决定;
    但电子偏偏潘宁规是选配,不装的话不能测出高真空达到没有,所以只能做一个延时电路,估计时间到了,然后可以打开高压,这样有两个麻烦,一是真空可能没到,比如有漏气、真空泵工作不正常,打开高压肯定出事;二是延时电路老化,越往后延时越长,只能隔几年调一次电阻,不然的话,虽然真空早到了,抽半天也不让你开高压。

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