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【资料】电镜安装的条件

  • chansonyuan
    2008/06/18
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我们现在需要安装日立的S-3500N,放大倍数小于10000倍,常用5000倍,现在一楼有一间可选择的电镜房,但是隔墙就是电梯,电梯的电机和控制柜在四楼,电镜房门口5米外有产品烧结用的电加热高温窑,设计电镜电子枪距离电梯大概4米,构筑长X宽X深为700X700X1000的防振水泥平台,安装人员第一次来没带测试仪器,了解了情况后也不能肯定能不能用。

    请问有没有专家,对电加热高温窑以及电梯产生的振动、电磁场对上面所说的放大倍数的影响究竟有多大,我们可否使用此房?多谢大家了。

    我们的电镜现已经安装完毕。下面我来讲一讲电镜安装的过程。
    1.首先,是场地的高度位置,最好是选在地下室,或说-1楼,我去过的国外的一个大学TCD,他们有5台电镜,就是放在地下-1楼,这样避免机械振动和电磁干扰。但大多数人只能在底层或0楼安装,中山大学3台电镜也是放在0楼,我们也是在0楼安装。电镜不建议放到上面说到的-1,0楼之外的其它楼层,除非你有钱买主动隔振台或是放大倍数比较小,如小于2000倍可能影响不大,但我知道德国进口的主动隔振台要2万多英镑。

    2. 其次,电镜房间的大小。一般说明书中面积要求不大,如日立的S-3500N,只要求3mX3m,但是考虑到样品前处理,喷镀,UPS,EDS, 液氮的空间需求,有条件的话,可以分别设置样品前处理,喷镀,UPS,液氮房,中山大学的条件好,分别设置了样品前处理室,喷镀室,UPS室,液氮室,办公室,不过有是多台电镜公用的。没条件,建议最少有4mX6m的空间,便于设备的放置和人员的走动。

    3.第三,电镜室周围的环境要求。一般有7方面的要求,震动,电磁场,室内装修,温 、湿度,电源,接地电阻。相信最权威的莫过于说明书中的要求,因为设备设计时会考虑到这些因素,有的要求不高,没必要配很好的条件。
    3.1震动。我们想讲一讲震动,对于震动,具体的要求我们的电镜为
    Oscillation Frequency Total Amplitude
    5 Hz     3um p-p max
    10 Hz    3um p-p max
    50 Hz    7um p-p max
    大概的意思就是在对应的频率下,其最大振幅不能够超过上述指标。但是由于电镜销售商没有震动测量仪,如请地震局来测很贵,所以大多实地考察后凭经验判断是否符合标准。参考了一些书,下面的只是我个人的一点经验供参考。
    a) 遵守上面的场地的高度规则;
    b) 远离震动源,如有载重汽车通过的马路,铁路,大型发电机,电梯等;
    c) 如周围有上述震动,为保险构筑防震台或购买防震台,如你的电镜放在-1或0楼,可以构筑防震台更便宜,我们的就是如此,主机距隔墙电梯4m;
    防震台的规范,参考了一些书籍网站,大致如下:
    a) 防震台的面积比你电镜主机的面积四周扩50mm-100mm即可,如我的电镜主机700mmX700mm,防震台750mmX750mm,实际施工时挖的面积远远大于750mmX750mm;
    b) 防震台的深度1m足够,为钢筋混泥土结构,实际施工时挖的深度大于1.5m,首先由于地下地基是松软的,所以必须先浇筑水泥地基及周边,保留950mmX950mm围井,沙石水泥地基厚度最少25cm,2礼拜水泥干后再浇筑30cm的防震沥青,2礼拜干后再浇筑750mmX750mm防震台,这样周边有20cm的间隙,但西北工业大学防震介绍“防振沟中间以不填材料为佳,若为了防止其它物体落入沟内,可适当填些松散的锯末、膨胀珍珠岩等材料。”我的防震台填沥青防震,上面再盖不锈钢盖板,四周玻璃胶密封。
    c)上面的施工很重要;
    3.2 电磁场。对于电磁场,由于设备比较便宜,不到2000元,所以厂商有设备可以精确的测量,注意要测量四周3个方向x,y,z方向的电磁场,要求所有的点和方向均合格。我们设备的要求为
        交流磁场     直流磁场
        水平方向     垂直方向     水平方向     垂直方向
    空间磁场小于     140 nT     640 nT     160 nT    720 nT
    我们实测均满足要求。对于电磁场,因为很难屏蔽或费用高昂,所以对于高倍的电镜,如不合格建议另外选址。我们的电镜,4米之外为电梯,但电梯电机在四楼,所以幸运合格。
    3.3室内装修 。主要指地面、墙面、天花板、门、窗、照明以及排气,地面有条件的可以考虑涂覆防静电环氧树脂地面,既防尘有防静电,价格还不贵,我的电镜室原先规划涂覆环氧树脂,但后来为了赶工,改为瓷砖,施工后效果不好,价格贵了,还容易起尘,后悔死了!
    墙面要涂涂料,防止粉尘和发霉等,天花有条件的可吊顶,美观一些,窗户应该装窗帘,照明一般就可以了,可以听从电工的建议。
    门须根据电镜的要求,保证电镜可以进来,我的门就改大了。
    另外需要设一个排气扇,在用液氮的时候可以抽气,保证空气流通。
    3.4 温 、湿度的控制。电镜的温度要求不高,我的为温度20±5 ℃,波动<0.5 ℃/h,HR<65%, 比厂方的严格。 可根据你房间的大小配置空调,最好带抽湿功能,因为用液氮的时候,有大量的水汽凝结,加大室内湿度,需要抽湿。如抽湿不够,需配备独立的抽湿机!
    另外不要让空调吹风口正对着电镜的样品室门,防止换样品时气流干扰!
    3.5 电源。电源,需先根据设备的用电功率,种类决定配电房拉电的箱数/功率和电缆的选用。我们的电镜,没有380v的,从配电房拉80A的总电,根据设备的情况费为5路:1路40A的给电镜主机,1路10A的给冷水机,3路10A的分别给EDS、镀金机和空调等。明天再细讲。
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  • chansonyuan

    第1楼2008/06/18

    没有人应答,我自己坐板凳了。

    3位版主,有何高见?

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  • bxg117

    第2楼2008/06/19

    十分不错,全面,客观

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  • fengfei1860

    第3楼2008/06/24

    您可以考虑安装一台

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  • 朝阳

    第4楼2008/08/07

    让人家来给你测一下磁场就知道了,温度在22到25°的样子 保持干燥 不要有震动 要有独立地线

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  • zyyzyb

    第5楼2008/08/11

    办工场合的条件可以安装吗?

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  • huangtao0307

    第6楼2008/08/14

    不一定﹐你要先測一下周圍的環境﹐看看電場﹑碰場﹑震動等.

    zyyzyb 发表:办工场合的条件可以安装吗?

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  • RoadCH

    第7楼2008/08/14

    直接打电话联系天美科技有限公司就行,他们的免费服务热线800-810-7890

    chansonyuan 发表:我们现在需要安装日立的S-3500N,放大倍数小于10000倍,常用5000倍,现在一楼有一间可选择的电镜房,但是隔墙就是电梯,电梯的电机和控制柜在四楼,电镜房门口5米外有产品烧结用的电加热高温窑,设计电镜电子枪距离电梯大概4米,构筑长X宽X深为700X700X1000的防振水泥平台,安装人员第一次来没带测试仪器,了解了情况后也不能肯定能不能用。

    请问有没有专家,对电加热高温窑以及电梯产生的振动、电磁场对上面所说的放大倍数的影响究竟有多大,我们可否使用此房?多谢大家了。

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  • marslp

    第9楼2008/08/21

    楼主的讲解很详细,对于扫描电镜安装的要求条件解释得相当具体,结合我自己工作的场所补充一点,3m*3m的面积针对仪器硬件部分基本都已足够(通常包括UPS,Chiller,Pump & EDS部件),但是有条件的情况下应该考虑额外的面积(0.5m*0.5m),欢迎大家一起来讨论。

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  • zyyzyb

    第10楼2008/08/24

    为什么没人回答呢?

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  • chansonyuan

    第11楼2008/08/24

    请问LZ可否详细点,比如你的电镜的放大倍数,打算放置的楼层,周围的情况,如有否震动或电磁场源?

    zyyzyb 发表:为什么没人回答呢?

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