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小工作距离提高扫描电镜成像分辨率

  • 驰奔仪器
    2016/10/26
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 扫描电镜工作距离(WD-working distance),指的是样品表面到电磁物镜下极靴表面之间距离,这个距离决定观察分析空间大小,同时为保护及其精密的物镜下极靴,也常常设定一个最小安全距离,避免样品碰撞划伤损坏下极靴。
    在保证安全条件下,可使用尽量小的工作距离,从而获得更稳定图像和更高分辨率。
    主要优势
    1、小WD,在同等探针电流下,可以获得更小高斯斑, 提高分辨率
    2、小WD, 在同等探针电流下,磁透镜像差系数更低,提高分辨率
    3、小WD,在同等探针条件下,外界干扰影响小,提高分辨率

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  • julichquan

    第1楼2016/10/26

    台式扫描电镜拍成这样很不错!小工作距离主要是前两个优点。简单补充一点:像差系数一般不这么说,像差包括球差和色差。工作距离小导致焦距变小,从而球差系数变小!
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  • 驰奔仪器

    第2楼2016/10/27

    谢谢,受教受教 ,就是不知道如何准确表达,小编可能自己创造概念了

    julichquan(v2976906) 发表:台式扫描电镜拍成这样很不错!小工作距离主要是前两个优点。简单补充一点:像差系数一般不这么说,像差包括球差和色差。工作距离小导致焦距变小,从而球差系数变小!
    感谢楼主的分享!

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  • UNM

    第3楼2016/10/27

    应助达人

    这个距离不算小,ZEISS的场发射可以达到更小的距离。

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  • 驰奔仪器

    第4楼2016/10/28

    据我所知,很多场发射都可以使用非常小的WD,它们使用镜筒内探测器,可以把电子束出口给赌上都没问题

    UNM(v2942222) 发表:这个距离不算小,ZEISS的场发射可以达到更小的距离。

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  • bybls_74

    第5楼2017/04/20

    这是什么电镜?驰奔电镜,怎么没听过,另外这是场发射的吗?钨灯丝感觉没这么高分辨率

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  • 驰奔仪器

    第6楼2017/05/11

    新品牌没有个几年功夫,很难让人知道,正常
    钨灯丝电镜,一般很少用这么高倍。

    bybls_74(bybls_74) 发表:这是什么电镜?驰奔电镜,怎么没听过,另外这是场发射的吗?钨灯丝感觉没这么高分辨率

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  • 驰奔仪器

    第7楼2017/08/14

    当时信手拈来,最近仪器分辨率下降明显,需要维护了,回头再看看还能不能出这个效果。

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