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第2楼2016/12/05
一般来说,用于扫描样品时金属的厚度为100-300A,经验的厚度测定由下面的公式得到:
d=KIVt
其中d是以“埃”为单位的镀膜厚度。
K是常数,取决于溅射金属和所充气体,此时靶与样品之间的距离大约是5cm。
I是等离子流的单位mA。
V是以“kV”为单位所施电压。
t是以秒为单位的时间。
采用金靶和氩气时K为0.17,如用空气K为0.07.因此对于典型的溅射,如:I为8mA,t为100秒,则:d=KIVt=0.17*8*100=136A,即每秒1.36A。
如果你没充氩气,就是靠针阀调节,你就取空气,要是充氩气就取氩气
电压一般1.5-1.6kV建议你最好联系一下,设备厂家或者查查说明书确定下高压