忽然断电,这种情况,就要求电源稳定,不要忽然断电;
遇到要开光室的情况,要先放真空,再关泵;
当然也可以加截止阀来防止忽然断电泵油被抽上去;
长期的油雾,是因为真空泵工作时间太长,温度高了,油分子自由运动上去的,和真空度没关系,
所以,可以是用间歇式真空泵,使真空泵不长时间工作,保持在一个比较低的平均工作温度,分子的运动相对慢一点,
但是控制这个间歇和间歇中的真空度是难点;
也可以用防返油过滤芯,但是这肯定会影响抽真空的效率;
这是我的一点浅见,也许有总结得不对的地方。
沧海青城(lgt228) 发表: 这就是设备癌症啊,有有效方法没呢