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求助:SEM加HV时真空自动破除

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 悬赏金额:50积分状态:已解决
  • 我今天在开始SEM抽真空后点击HV后,真空自动破除,我重新抽真空再次点HV,发现有图象出现,但图象斑点非常多,怎么调都一样,并且关掉真空时,黑色屏幕上出现很多白色小点.请问是什么原因,,急,,,在线等啊.谢谢啊

annelugel 2006/11/23

顺便说一句,有白色雪花点说明你探头到PPT为止应该没问题。图像太差可能是因为真空度问题。

春天的桃子 2009/01/08

"我今天在开始SEM抽真空后点击HV后,真空自动破除 " 我当时的原因是镜捅里面要清洗.

prodigy38 2009/01/15

[quote]原文由 [B]chool012[/B] 发表: 我今天在开始SEM抽真空后点击HV后,真空自动破除,我重新抽真空再次点HV,发现有图象出现,但图象斑点非常多,怎么调都一样,并且关掉真空时,黑色屏幕上出现很多白色小点.请问是什么原因,,急,,,在线等啊.谢谢啊[/quote] 请告知型号。。。。。

磨剪子嘞 锵菜刀 2009/02/15

Jeol的?好久没来,怎么表情图标变得这么XX……

gpdx 2006/11/22

建议直接联系您的电镜的工程师!

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  • gpdx

    第1楼2006/11/22

    建议直接联系您的电镜的工程师!

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  • annelugel

    第2楼2006/11/23

    可能是电路板的问题,控制高压和真空相连那块。信息太少,很难判断。至少你要把SEM的型号说出来,在真空多少的时候上的高压,第一次上不行,第二次就可以了,之间你进行了什么不同的操作没?你有没有用其他探头试试,先排除探头本身问题(虽说这个可能性很小)。信息不够是没法判断的。如果你熟悉你的SEM的话这个应该不是大问题,不过还是建议你联系厂家的工程师,他们解决的速度肯定比你自己检查要快。

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  • annelugel

    第3楼2006/11/23

    顺便说一句,有白色雪花点说明你探头到PPT为止应该没问题。图像太差可能是因为真空度问题。

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  • haojun727

    第4楼2006/11/23

    出現雪花應該是真空度問題.
    估計是真空泵有問題,看一下油是不是有問題.

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  • 春天的桃子

    第5楼2008/12/19

    这种情况我原来也遇到过,后来联系工程师来,他们也没有解决的了

    annelugel 发表:可能是电路板的问题,控制高压和真空相连那块。信息太少,很难判断。至少你要把SEM的型号说出来,在真空多少的时候上的高压,第一次上不行,第二次就可以了,之间你进行了什么不同的操作没?你有没有用其他探头试试,先排除探头本身问题(虽说这个可能性很小)。信息不够是没法判断的。如果你熟悉你的SEM的话这个应该不是大问题,不过还是建议你联系厂家的工程师,他们解决的速度肯定比你自己检查要快。

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  • 春天的桃子

    第6楼2009/01/08

    "我今天在开始SEM抽真空后点击HV后,真空自动破除 " 我当时的原因是镜捅里面要清洗.

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  • 朝阳

    第7楼2009/01/13

    对比度加的太大了吧?

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  • prodigy38

    第8楼2009/01/15

    请告知型号。。。。。

    chool012 发表:我今天在开始SEM抽真空后点击HV后,真空自动破除,我重新抽真空再次点HV,发现有图象出现,但图象斑点非常多,怎么调都一样,并且关掉真空时,黑色屏幕上出现很多白色小点.请问是什么原因,,急,,,在线等啊.谢谢啊

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  • 110sl119

    第9楼2009/01/18

    真空有问题;建议12小时抽真空;高压点开不要关;每4小时加一次高压;6小时做一次FLASHING;再看看效果;是在不行;通知厂家。

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  • bigbug51

    第10楼2009/02/01

    没型号,不好判断,图像差可能有很多原因,二次电子探头闪烁体的高压坏了会造成衬度变差,如果是场发射的灯丝发射过低也是这样。

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