【资料】《FIB在微电子失效分析上的应用》

我说呢，那么大的标准化系数肯定是有问题了。

^_^，真是好东西，正在学习中。

你的文件讲的介绍用双电子束同时做"切和看"，新的FIB都有这样的设计。它是“Introduction to Focused Ion Beams”这本书的第6章，这本书还是挺全面的。

1.在国内建个失效分析中心怎么样？
当然不错，但要大笔资金
2.国内主要IC设计中心有没有FA部门，FIB应用情况如何？
IC设计中心有FA部门（很少一两个人），但一般没有FIB，我知道的情况是请别人做，
3.国内FAB厂中FIB设备主要是用在in-line还是FA，应用和需要前景如何？是否需要单独把片子拿出到外面的FA中心去做分析？
FAB厂有FA部门，且很强大．一般不需要单独把片子拿出到外面的FA中心去做分析

这里半导体失效分析的讨论好少啊， 没有做这方面的吗？

eeletters 发表:朋友提供的资料，主要是讲FIB 在微电子 FA方面的应用。非常全面和经典。另他想了解以下问题：

1.在国内建个失效分析中心怎么样？
2.国内主要IC设计中心有没有FA部门，FIB应用情况如何？
3.国内FAB厂中FIB设备主要是用在in-line还是FA，应用和需要前景如何？是否需要单独把片子拿出到外面的FA中心去做分析？
4.FIB在国内8寸厂用得多不？在封装厂用不？

请朋友们讨论下!
资料若无法下载，请发信到ee.letters@gmail.com索要。


FIB在微电子失效分析上的应用

谢谢分享~~~~~~~~

好东西啊，支持支持~~~

在8寸厂用的很多，主要是FA用，封装厂不清楚。

icewine2000，你有全本的资料吗，很想学习一下啊。