工作距离和放大倍数的关系

在束斑直径不变的前提下：
在给定的放大倍率下，工作距离不影响放大倍率(这需要跟踪调整），但影响分辨率，工作距离越大分辨率越低，反之亦然。所以高倍率不仅要有更细的束斑直径也需要有更小的工作距离。这些关系起作用的因素是“孔径角”，更小的工作距离才有更大的“孔径角”。

“在同一个放大倍数下，改变工作距离对放大倍数会不会有影响？我猜想在同样的放大倍数下，扫描线圈的电流波动是固定的，如果电子束在扫描过程中始终垂直于样品表面，那工作距离对放大倍数就不会有影响；如果不能保证电子束始终垂直扫描，那么工作距离越大扫描范围也会越大，显示的放大倍数实际上偏
大。对于高放大倍数，电子束的倾斜可能不严重，但是对于低倍，恐怕不容易保证电子束在大范围内平行移动。我没有看过SEM的光路图，不知道光路是怎么
设计的。有没有人想过这个问题？”
如果在断口上扫描，严格说高的面放大倍率大些，低的面放大倍率小些。

现在不讨论分辨率，我的疑问是工作距离是真的完全不影响放大倍数还是影响不明显，通常忽略。这需要在同一个放大倍数下大幅度调整工作距离，同时观察扫描范围是否有变化。

不改变扫描线圈X Y 激励范围，工作距离越大，放大倍数越小。
放大倍数改变和工作距离改变基本成正比。

这就是一般的几何关系， 远的地方看起来小，近的地方看起来大。

跟踪调整聚焦，工作距离越小放大倍率越大。但放大倍率可以独立调整。

feng老先生， 我对这个问题也一直存疑问。我感兴趣的是您使用的扫描电镜， 在调焦时，放大倍数跟着联调吗？

3楼和4楼的放大倍数是指实际放大倍数吗？如果实际放大倍数随工作距离增大而变小，这是容易理解的，显示的放大倍数（这个应该是不会自动变化的吧）应该是偏大呀。
跟踪调整什么意思，怎么实现的？

实际显示放大倍数，应该随着物镜焦距改变而改变的，这对于扫描电镜来说是最合理的。
比如粗调物镜焦距，这时候的正焦扫描光栅移动范围，也就是我们常说的WD可以从1mm~70mm 。如果在1mm处聚焦清楚了一个物体，放大倍数假设100倍，那么把这个物体通过调整样品台Z轴下降到70mm处，可以看到很虚的这个物体的像，因为离焦很远。这时物体的像尺寸应该是多大呢？1mm处像尺寸的1/70. 实际放大倍数不是100倍，而是100/70倍. 调整物镜焦距，在70mm处聚焦清楚，这时虽然我们操作人员好像没有调节放大倍数，但如果此时的放大倍数不自动进行修正，显然是错误的。

我觉得也是，但这个时候是不是屏幕上显示还是100倍？

调焦70mm清楚图像，我讲过两种不同的电镜， 一种图像显示的放大倍数还是100倍，这时错误的，但可以手动输入WD值，然后显示放大倍数才会改成，100/70倍。 以前我发现有个别进口电镜在这个问题上很不严谨。

一种自动修正了放大倍数，图像显示的放大倍数为100/70倍。