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场发射扫描电镜和热发射扫描电镜电子枪性能问题

  • 驰奔仪器
    2017/03/16
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 扫描电镜高质量应用，意味着高分辨高信噪比，在一定扫描电镜时间内，追求小束斑大电流，
    对于钨灯丝和六硼化X阴极材料的热发射枪扫描电镜，束斑尺寸增加，束斑电流增大，图像信噪比提高，但分辨率降低。束斑尺寸和束斑电流关系如下图LaB6和W，二者呈线性关系，很好理解。
    但场发射枪扫描电镜，高分辨范围内，在束斑尺寸也就是分辨率变化很小情况下，束斑电流变化两个数量级，接近100倍，这是什么原因呢？
    见下图 Feild Emssion Gun 曲线
    小驰请有操作经验的兄弟姐妹解惑，谢谢!

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    +关注 私聊

  • 小M

    第1楼2017/03/17

    应助达人

    太深奥了，不明白其中的道理了，帮顶

0
    +关注 私聊

  • fengyonghe

    第2楼2017/03/18

    超过10nm就不是高分辨率了，钨灯丝枪也可以轻易做到50nm。在10nm处场发射的束流高出两个数量级，体现了其优越性。当束斑直径增大时其面积是与直径的平方成正比的，由于场发射的电子束比钨灯丝的电子束更集中 ，其束流的增大会更快。而钨灯丝的电子束发散度要大些。

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