2个改进目标:采集速度的提升,和空间分辨率的提升。
为了前者,提高SDD晶体面积、以及细管、前端扁平化、平插、多晶体等各种让SDD晶体更靠近样品的措施 最终目的是提高固体角。
为了后者,要为低能端进行优化,提高窗口材料在低能端的透射率,比如氮化硅薄窗及无窗。
此外,还有能量分辨率的提升。能量分辨率的提升意味着噪音的降低,对低能端特有意义。Mn峰分辨率每提升一点,意味着噪音的明显下降,C峰分辨率都会提升一大步,低能端谱峰分离度以及峰背壁改进明显。 期待150mm2 Mn峰能量分辨率也能达到121eV。