STEM 对中

在Alignment里仔细检查beam shift。

试一试下面的招数，看能否解决你的问题：
停止扫描；用束斑位置标（beam position marker tool）来控制束斑的位置；双击束斑位置标；在position内输入x=0, y=0。
再切换到成像模式，就应该没有那末多的电子束位移了。

您讲的这个应该是在获得了stem像之后的调整吧，我现在是在得到stem像之前调整电子束的时候就有这个问题，这时候可以用这个方法吗？

从你的原文字面理解，应该是在STEM模式下从diffraction到imaging的切换。如果我理解不对，请再详细说明你的步骤。

对不起，可能我没说太清楚。在刚进入stem模式的时候，先调整光路如像散、旋转中心之类，具体步骤是点击stem之后，按diffraction进入成像模式，这时光就跑了，必须降低放大倍数才能把光找到然后调到中心，在放大到原来的倍数。但是等下次再用的时候还是有同样的问题，然后还得再调，所以比较麻烦。我就想知道，这种问题时有什么引起的，该怎么调整才能解决这个问题。我记得以前我使用的时候，当按下diffraction之后，光还在原来的位置上，现在怎么就变了。多谢指点！

从STEM进入到成像模式后，降低放大倍数找到光斑，在Direct alignment上选Beam shift，用多功能键将光斑对中。