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外延薄膜晶格常数计算的问题

致远135

2017/07/04

X射线衍射仪（XRD）

在钛酸锶（SrTiO3）基片上沉积陶瓷薄膜CTNA，如图，由XRD可以看出是外延生长薄膜，现如今想计算该薄膜的晶格常数，怎么算？？
用Jade拟合，然后晶胞参数精修行不通（拟合之后的误差因子非常大）；
如果手动计算，条件好像不够（薄膜样为正交结构,a不等于b不等于c。由同一晶面族的三个晶面算不出来，一个方程两个未知数。）
如果采用GSAS结构精修，是否可行？ XRD图谱里面既有薄膜样的衍射峰又有基底的衍射峰，并且又是外延薄膜，和pdf卡片上面的标准衍射峰不可能完全对应，怎么处理？或者有没有其他的计算方法。。

请大侠赐教，不胜感激！

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致远135

第1楼2017/07/05

来个大牛指点一下啊，这个问题困扰好久了。。

0

iangie

第2楼2017/07/09

应助达人

为什么会有两个CNTA的110峰？
CNTA膜厚有多厚？

0

致远135

第3楼2017/07/11

您好！
我通过SEM看了一下薄膜样的截面，膜厚大约为800nm。
另外不好意思，第二个衍射峰指数为（220），根据这三个衍射峰求不出晶格常数啊。高角度我也扫过了，出现的衍射峰为（440）。是不是得用非对称衍射来获得其他衍射面的布拉格角和晶面指数？或者说，这种外延薄膜的面内面外晶格常数应该怎么获得？跟仪器是否有关？我用了D8 advance、理学的也用过。是不是非得用 D8 discover才能获得面内面外晶格常数? 求指教
iangie(iangie) 发表:为什么会有两个CNTA的110峰？
CNTA膜厚有多厚？

0

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