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4460无真空显示

直读光谱

  • 检查泵体是好的,状态版是好的,光室有真空,不知道该动哪了,请大神指点
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  • dfgj

    第1楼2017/08/02

    查一下真空度传感器和线路吧,看是不是有信号到状态板上

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  • hsz123456

    第2楼2017/08/02

    是不是有什么地方漏气?

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  • m3076930

    第3楼2017/08/04

    线路是通的,板子供电正常,电阻有三个庄量不出来

    dfgj(1691918) 发表:查一下真空度传感器和线路吧,看是不是有信号到状态板上

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  • m3076930

    第4楼2017/08/04

    漏气不好查漏?

    hsz123456(2198998) 发表:是不是有什么地方漏气?

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  • m3076930

    第5楼2017/08/04

    带电测过了电压8.78

    dfgj(dfgj)发表:查一下真空度传感器和线路吧,看是不是有信号到状态板上

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  • wccd

    第7楼2017/08/05

    应助达人

    可监控真空电路板(TP1-TP2)的电压是多少,≤150mV(即R7上的电流≤15mA)是正常的。
    另外检查一下真空规是否接触良好。

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  • wccd

    第8楼2017/08/05

    应助达人

    这是测的哪里的电压?如果是TP1-TP2的电压,说明真空不正常,也不排除电路有元件损坏。

    m3076930(m3076930) 发表:带电测过了电压8.78

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  • m3076930

    第9楼2017/08/07

    真空计的电压,现在已经更换真空计了!真空好了!

    wccd(1841897) 发表: 这是测的哪里的电压?如果是TP1-TP2的电压,说明真空不正常,也不排除电路有元件损坏。

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  • m3076930

    第10楼2017/08/07

    量电阻有一个针量不出来。

    wccd(1841897) 发表:可监控真空电路板(TP1-TP2)的电压是多少,≤150mV(即R7上的电流≤15mA)是正常的。另外检查一下真空规是否接触良好。

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