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扫描电镜(SEM/EDS)
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【讨论】我实在是没有办法了!
hyb087960
2006/12/09
私聊
扫描电镜(SEM/EDS)
我们一台KYKY2800电镜最近出现了这样一个问题,我们把扩散泵清洗完、真空油更换以后,现在真空系统运转很好,再也没出现因真空度不够而使电子枪与阳极打火,造成不加灯丝电压就有束流显示的现象。但现在我们把灯丝电压打到6格,高压加到2万5千伏,居然没有束流指示,当然也无法看像。我们仔细检查了高压电源输出、高压电缆的通导,KBD板束流显示功能均正常,灯丝也没有断。屏蔽掉高压真空互锁功能之后,单独加灯丝电压,电子枪灯丝电压及高压均正常.量灯丝座到韦氏极螺钉电阻值1.5兆欧,高压电源输出端到灯丝之间电阻1.6兆欧左右,说明电缆是通的。
这到底是怎么回事呢?如能赐教,非常感激!
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