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【讨论】电子能谱XPS与能量散射X-射线光谱仪EDXA有什么区别？

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 如题：电子能谱XPS与能量散射X-射线光谱仪EDXA有什么区别？得出的结果是不是重复的？对于新材料的表征，有必要二者同时做么？请指导一下。打算用 SEM配备能量散射X-射线光谱仪EDXA进行表征。
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  • sysmith

    第1楼2010/04/28

    当然有区别，看你想对材料表征什么，然后选择相应的表征手段。

    sunfhiae(sunfhiae) 发表:如题：电子能谱XPS与能量散射X-射线光谱仪EDXA有什么区别？得出的结果是不是重复的？对于新材料的表征，有必要二者同时做么？请指导一下。打算用 SEM配备能量散射X-射线光谱仪EDXA进行表征。

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  • xgq_2001

    第2楼2010/05/20

    完全不同，xps检测的是电子信号，对元素的化学状态很敏感，信号来源于纳米级深度。EDX检测的是特征X射线，仅能检测元素，不能分辨其价态，信号来自微米级深度。

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  • fly-fall

    第3楼2010/05/28

    XPS是ESCA...

    xgq_2001(xgq_2001) 发表:完全不同，xps检测的是电子信号，对元素的化学状态很敏感，信号来源于纳米级深度。EDX检测的是特征X射线，仅能检测元素，不能分辨其价态，信号来自微米级深度。

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