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硅片上镀膜，膜的红外吸收测试问题

xwpinsane

2017/11/14

红外光谱（IR）

在硅片上沉积了膜，膜无法取下，现需要测试膜的吸收，考虑到膜有反射，希望测试透过率光谱及反射率光谱来得到膜的吸收。现在试了几种方法：
1、用傅立叶变换红外光谱测试。透过率用空白双面抛光硅片做背景，测试透过率；以金镜为背景用镀金的积分球附件测试反射率。结果有些出现反射率?透过率大于100%。
2、用显微红外光谱仪测试。以空气为背景，测试硅片透过率T1，假设硅片对红外光不吸收，其反射率R1=1-T1；以硅片做背景，测试硅片上镀膜反射率R2，样品实际反射率R＝R1*R2；以硅片做背景测试样品透过率T。样品吸收=1-T-R=1-T-(1-T1)*R2。结果也会出现反射?投射大于100%。若用显微红外测试以金镜做背景也会出现这种情况。
各位老师帮我分析一下原因吧，还有测试基底上的膜中红外的吸收应该用什么仪器，用什么测试方法。谢谢谢谢

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neity

第1楼2017/12/14

应助达人

个人感觉要点是要测试同一入射角度下的反射、透射率。这样才不会出现超百现象，但是很难控制。

0

天津天光光学仪器

第2楼2017/12/20

这个很好理解的啊，说明你的背景所使用的硅片透过率低于镀膜的硅片，背景所使用的硅片也许是厚了，也许是抛光质量差了，而镀膜的片也许增透能力太强，完全有超过背景片的可能性！

0

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