仅0.001秒即可测出物体三维形貌,并且是亚纳米的分辨率。不同于传统白光干涉仪、共聚焦显微镜、扫描探针轮廓仪等需要扫描的成像方式,DHM仅需0.001秒采集单张全息图即可测出物3D形貌信息,做到了快速动态监测。 和传统全息术不一样的是没有采用干板而是采用CCD记录全息图,全息图中 光强图:提供与传统显微镜一样对比度的图像 相位图:提供量化数值,得以对被测物体进行精确三维测量 该系统为预放大全息显微镜,其中的相位图解析中用到了大量的算法,实时相位解包裹技术 实时形貌测量的案例二:石墨烯薄膜受力形变实时测量 |