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求助,日立SU8010分子泵噪音原因。

  • Insp_531ef0a0
    2018/03/07
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 前几天使用的好好的,昨儿下午突然发出 类似耳鸣的噪音,声音不大,刺耳,但是可以正常使用,厂家工程师不在现场没法判断具体原因,各位老师有知道的吗,求解决方法。
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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第1楼2018/03/08

    1.有漏气现象,伴随真空状态不好,声音不会刺耳。
    2.分子泵轴承磨损,随着磨损加剧声音会越来越大
    你这多半是第二种状况,可能需要更换轴承或者泵体。

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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第2楼2018/03/08

    分子泵正常运转会有轻微啸叫,是正常的,声音刺耳就要多留意了。

    磨剪子嘞 锵菜刀(amoslau) 发表:1.有漏气现象,伴随真空状态不好,声音不会刺耳。2.分子泵轴承磨损,随着磨损加剧声音会越来越大你这多半是第二种状况,可能需要更换轴承或者泵体。

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  • Insp_531ef0a0

    第3楼2018/03/08

    今天又出现了类似电机运转的声音,两米外都能听见。请问分子泵真的出问题了吗,机器才刚使用2个月。

    磨剪子嘞 锵菜刀(amoslau) 发表:分子泵正常运转会有轻微啸叫,是正常的,声音刺耳就要多留意了。

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  • 风云变幻

    第4楼2018/03/08

    两米能听见不代表就刺耳。
    跟人的听力和所处环境都有关系。直接联系厂商咨询一下

    Insp_531ef0a0(Insp_531ef0a0) 发表: 今天又出现了类似电机运转的声音,两米外都能听见。请问分子泵真的出问题了吗,机器才刚使用2个月。

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  • Insp_531ef0a0

    第5楼2018/03/08

    昨天只有“滋滋”的噪音,今天又多了一种电机的运转声,但是面板上显示TMP正常,也没有报警,但总感觉哪儿不对。

    风云变幻(v3165605) 发表: 两米能听见不代表就刺耳。
    跟人的听力和所处环境都有关系。直接联系厂商咨询一下

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  • lihong7178

    第6楼2018/03/08

    先观察几天,如果噪声越来越大,可以考虑关机,等分子泵停下来,然后再开机。

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  • 驰奔仪器

    第7楼2018/03/08

    温度变化引起的正常反应, 电机运转声音应该是散热风扇启动的声音。
    没啥事

    Insp_531ef0a0(Insp_531ef0a0) 发表: 昨天只有“滋滋”的噪音,今天又多了一种电机的运转声,但是面板上显示TMP正常,也没有报警,但总感觉哪儿不对。

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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第8楼2018/03/09

    两米以外能听见,这个声音有点大了。
    1.涡轮分子泵刚启动,开始抽取高真空的工作状态时,也就是从较低转速加速到高转速的时候,高速的转子叶片与空气摩擦,会有声音增加,有明显高频啸叫,随着真空越高声音渐小,最后就剩下正常运转轻微的高频噪声。(如果有“漏气”,泵的负载会增加,声音会更明显。当然如果漏气抽取真空的时间会超时,整个真空系统达不到较高的极限真空。如果极限真空状态良好基本可以排除漏气现象)
    2.如果声音来自分子泵本身的话,会有上述这样一个变化,如果来自散热风扇或者分子泵驱动电源(有故障的电源内会有变压器高频噪音,翁嗡嗡滋滋滋的那种,偏像震动的不是口哨声)又是另外一回事,分子泵转速远远高于散热风扇,可以仔细体会一下这个声音是否属于高频噪音。
    3.设备刚运转两个月在免费质保范围内,可要求售后检测,出保之前及早解决。

    Insp_531ef0a0(Insp_531ef0a0) 发表: 今天又出现了类似电机运转的声音,两米外都能听见。请问分子泵真的出问题了吗,机器才刚使用2个月。

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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第9楼2018/03/09

    一般设备检测分子泵运转状态就两个基本参数,1.是否超温,2.是否达到预定转速(50%、80%转速达成)。不超温,转速够,tmp就OK.

    Insp_531ef0a0(Insp_531ef0a0) 发表: 昨天只有“滋滋”的噪音,今天又多了一种电机的运转声,但是面板上显示TMP正常,也没有报警,但总感觉哪儿不对。

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  • Insp_531ef0a0

    第10楼2018/03/09

    感谢您的帮助,公司已联系厂商工程师过来鉴定和调试

    磨剪子嘞 锵菜刀(amoslau) 发表:一般设备检测分子泵运转状态就两个基本参数,1.是否超温,2.是否达到预定转速(50%、80%转速达成)。不超温,转速够,tmp就OK.

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