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【求助】学半导体的谁知道一种生长晶体的方法叫 Czochralski法?

物理知识

  • 学半导体微电子的,可能经常会在国外的文章中看到一种生长晶体的方法叫Czochralski 法,谁能详细说明一下这种方法的过程,特点?以及Czochralski Si(CZ-Si)是指的是什么??
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  • eastxie

    第1楼2006/12/29

    也叫提拉法,Si单晶是用来做籽晶的。

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  • 豫州*阿秋

    第2楼2007/01/06

    指的是切克劳斯基法,就是我们常说的直拉法。其基本工艺过程是:加料→熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长。CZ法生长出的单晶硅,用在生产低功率的集成电路元件,CZ法容易生产出大尺寸的单晶硅棒(指直径)。Cz-Si指的是直拉单晶硅。

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  • emmalee07

    第3楼2016/03/12

    应助达人

    直拉法又称为切克劳斯基法,它是1918年由切克劳斯基(Czochralski)建立起来的一种晶体生长方法,简称CZ法。CZ法的特点是在一个直筒型的热系统汇总,用石墨电阻加热,将装在高纯度石英坩埚中的多晶硅熔化,然后将籽晶插入熔体表面进行熔接,同时转动籽晶,再反转坩埚,籽晶缓慢向上提升,经过引晶、放大、转肩、等径生长、收尾等过程,一支硅单晶就生长出来了。[1]

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