气质联用(GCMS)
JOE HUI
第1楼2019/02/21
确定涡轮泵转速上不去 ,真空抽上去吗?有没有100%,听你描述,放空阀关了吗?前级泵正常运转吗?侧板抽真空顶了一下吗?有没有听到滴的一声
Insp_209ba0f7
第2楼2019/02/21
谢谢 现在可以了 是传输线的螺母没旋紧的原因 我有按10秒啊 有没有滴的一声我倒没注意
senke
第3楼2019/02/21
有漏气,机械泵抽不到相应的真空度,分子涡轮泵就不会开启。这是很明显的大漏才会出现
PAEs
第4楼2019/02/22
这应该是哪里存在漏气
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