气质联用(GCMS)
sdlzkw007
第1楼2019/05/01
只要机械泵开始运转,正常情况下5分钟内分子涡轮泵还没有开始启动,表示有点儿问题,需要解决泄露或者分子涡轮泵的控制,电源供应等等
hujiangtao
第2楼2019/05/01
界面上显示泵转速的地方能看到
飘殇
第3楼2019/05/01
现在是泵分子涡轮泵启动不了,初级泵真空度为1.6*e3 mTorr,想问一下真空度是不是达到分子涡轮泵的启动条件了,如果达到了的话就应该是分子涡轮泵的控制或硬件出问题了,如果没有达到的话就是真空腔漏气了,我是这么判断的,不知到是否正确。
第4楼2019/05/01
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