保证扫描电镜样品清洁有多重要？

保持 SEM 制样工具干净

如果在样品制备过程中，不注意保持清洁，用裸手拿取样品，手上的油脂灰尘会污染样品。如下图所示，裸手接触干净铝箔表面后，可以观察到明显的污染物。通过能谱面扫分析，发现污染颗粒主要成分为碳和氧，由此推断该污染物主要为油脂。

干净铝箔表面 裸手触摸过的铝箔表面

表面污染物能谱面扫结果分析

不同放大倍数下唾液对样品的污染

唾液晶体能谱分析结果

样品保存过程中也要保持干净无尘，灰尘落到样品表面亦会影响电镜观察结果。因此样品不观察的时候，需要放置在干净的密封盒中，同时要求电镜放置环境干净无尘。

灰尘颗粒对样品的影响

保持样品的清洁，就是保持扫描电镜（SEM）结果的准确性和可靠性。