透射电镜（TEM）
zxl2003
第1楼2007/01/28
据我所知测薄膜的厚度有台阶仪、椭偏仪等，当然更加直观的方法就是用SEM或TEM看截面了。
孤独浪子
第2楼2007/01/28
薄膜的厚度测量都有好多方法，最好是用薄膜测厚仪，而且不是很贵，大概几百块钱吧！这里好像有的买 http://www.zgkx17.com/ 也不知道是否合适您
gzklyj-1178
第3楼2007/01/28
请问是应用于哪方面的薄膜？是何种材质？
kanojeo
第4楼2007/01/28
有膜厚仪、台阶仪、椭偏仪等都可以测
第5楼2007/01/28
还有紫外分光光度计的积分球也可以测 nm级的膜厚
silva
第6楼2007/01/28
扫描的截面样品怎么制备啊？谢谢！
第7楼2007/01/29
如果能掰断的话就将端口立着夹在样品台上直接观察。如果用其他方法切断或锯断，恐怕就得用砂纸打磨和抛光了。磨截面时需要用两片平板将样品夹紧或用树脂镶嵌起来。如有必要，抛光之后可用适当的浸蚀剂腐蚀一下，这样可以使显微组织和界面显示得更加清晰。。
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