气相色谱（GC）
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第1楼2024/09/19
它们会对硅烷产生不少不良影响。一方面，氯化物可能会与硅烷发生反应，降低硅烷的纯度和稳定性。另一方面，在一些工艺过程中，氯化物可能会导致设备腐蚀，增加维护成本，还可能影响最终产品的质量。所以，要尽量减少硅烷气体中的氯化物含量
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