jhmn
第1楼2007/02/24
多长时间要看很多因素:电压,掠射角度,样品材料,减薄仪类型及枪的对中与聚焦状态等,当然了,样品起始厚度更是关键。。一般来说,13um是很薄的了,不应该花太多时间。
我的个人经验供参考:硅基材料40um,4.5kV, 5degree, Gatan PIPS,大约30分钟见孔。
一般减薄仪都会在样品底部安装一透射灯,一旦穿孔,样品漏光,就看见盼望已久的“洞”。
sun-guo
第2楼2007/09/08
自己可以先做一个样品做试验,在电压、电流、角度、厚度及材料一定的情况下,大致确定开孔时间,从而得到该条件下减薄速率如 微米/小时。以此为基础,可大致推断其他条件下,材料的减薄时间。一般而言,电压越大,速率越高;角度越大,速率越大;电流越大,速率越高;材料强度越高(键能越大),速率越小。虽然减薄速率有变动,但不会太大。这个参数确定以后,以后再做同类材料的离子减薄,基本上是做一个成一个。