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日本电子 JSM-IT100 EDS分析时报错“invalid register parameter for PTDD I/F”

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 之前使用一直正常，今天开机后电镜正常使用。进入EDS选择分析范围，点击开始后出现“invalid register parameter for PTDD I/F”。

    检查了接线和仪器设置，没发现明显故障。求
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