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探讨下扫描的精度

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 首先，扫描的精度是多少。都说是0.01%at，但常常觉得误差在3%at范围内。

    另外，做了个测试。假设存在基体为AB，第二相为ABC的物质。

    当在第二相上打点，可以看出ABC三种元素。 当圈个小范围，包含第二相，可以看出ABC。画个稍大的圈，仍然可以看出ABC。再画个更大的圈，就看不出C元素了。。

    求解。。。

    令人表征成分极少的第二相含量时，有什么好的建议。
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    +关注 私聊

  • 小M

    第1楼2011/12/05

    应助达人

    你说的是能谱吧

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  • fengyonghe

    第2楼2011/12/06

    当电子束不打在第二相上但距离较近时仍有C元素，当电子束不打在第二相上但距离较远时没有C元素，这是正常的。能谱X线作用范围如下图所示。检测极限用重量百分数表示η=0.1%—0.2%

    wolfzsx(wolfzsx) 发表:首先，扫描的精度是多少。都说是0.01%at，但常常觉得误差在3%at范围内。

    另外，做了个测试。假设存在基体为AB，第二相为ABC的物质。

    当在第二相上打点，可以看出ABC三种元素。 当圈个小范围，包含第二相，可以看出ABC。画个稍大的圈，仍然可以看出ABC。再画个更大的圈，就看不出C元素了。。

    求解。。。

    令人表征成分极少的第二相含量时，有什么好的建议。

0
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  • fengyonghe

    第3楼2011/12/06

    再看下这个帖子http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20111129/3675633/

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