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【讨论】有关S.E.M.知识中的像素(像点)概念

扫描电镜(SEM/EDS)


  • 怎样理解有关S.E.M.知识中的像素(像点)概念?它与聚焦、景深有何关系?
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    第1楼2006/09/07

    不明白问的是什么。

    haidanok 发表:
    怎样理解有关S.E.M.知识中的像素(像点)概念?它与聚焦、景深有何关系?

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  • ilovexcel

    第3楼2006/09/08

    像点受beam spot直径的限制,如果beam spot的直径是1um,扫描的面积是100umx100um,那么所成的像的像数最多只能有100pixel X 100pixel, 当然也可以把每条扫描线分解成更多,但分辨率并不会上去,也不会带来更多的细节。
    景深受beam 的NA(光圈)影响,NA越大,景深越小,分辨率越高

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  • ilovexcel

    第4楼2006/09/08

    应该将上图中的文字“左”和“右”对调,那段文字应为“左边的beam比右边的beam的夹角大,在比较低的样品表面有更大的beam spot,即左边的beam有更小的景深。”

    ilovexcel 发表:像点受beam spot直径的限制,如果beam spot的直径是1um,扫描的面积是100umx100um,那么所成的像的像数最多只能有100pixel X 100pixel, 当然也可以把每条扫描线分解成更多,但分辨率并不会上去,也不会带来更多的细节。
    景深受beam 的NA(光圈)影响,NA越大,景深越小,分辨率越高

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  • haidanok

    第5楼2006/09/09

    谢谢3楼的回复,同意4楼的意见!不知各位大虾还有何高见?本人对象素重叠也不是很理解…………

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  • 小石头

    第7楼2006/10/10

    扫描电镜景深F取决于分辨本领d和电子束入射半角a
    F=d/tana

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