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扫描电镜(SEM/EDS)
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聚光镜激励电流与分辨率的关系
Insm_6faac6a4
2020/05/14
私聊
扫描电镜(SEM/EDS)
看到一篇2011年的讨论帖,讲聚光镜电流。
于是我将自己学习的聚光镜电流变化与分辨率之间的关系写下来
由上图可知,调节聚光镜激励电流,αi会随之变化。增大激励,αi会变大,中间像di变小,S1变大,S1/WD也相应变大。S1/WD这个参数称为放大倍率,其越大,则相对应的束斑尺寸则越小,分辨率越高。
同时,增大聚光镜的激励,进入物镜光阑的电流量=中间像的电流*(α0/αi)^2,由于αi变小,进入物镜光阑的电流量减小,束斑电流减小,图像亮度减小,信噪比变差。
因此,调节聚光镜的激励,是一个有关图像分辨率和图像信噪比的矛盾关系,需要辩证的来看。
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