【讨论】EDS定量分析時C含量偏高

首先看一下你用的是什么导电胶 大部份导电胶都是碳质的 样品发射的x射线 入射到导电胶上 激发导电胶中的元素产生二次x荧光。所以做EDS时免不了背地材料的干扰。换不含碳的导电胶试试。
第二 看一下你的能谱仪对低原子序数元素测量的准确度 做定量时碰到低原子序数元素时 准确度的可能降低。

可以用等离子清洗一下你的样品，试试看

EDS根本就不适合用来定量分析C等轻元素，最好换别的方法。

高招，值得一试。

猜测一下：
你用的是牛津或者Horiba的能谱，而且用的一定是无标样定量吧？
有办法解决，如下：
1.如是样品或者电镜内部不洁净造成的，清洗样品，避免样品长时间处于电子束的轰击下。
2.排除样品的原因，那就是能谱系统本身造成的。可通过和样品类似的标样标定再做定量。
3.上述的两家能谱的准直器都是铝制的，为了防止二次激发准直器的铝，厂商在准直器内部涂了碳，这就造成了碳元素测不准，这一点只能通过向厂商定制特殊的准直器来解决。

我们的恰好相反，我们的碳含量99%以上，一般测试出来才95%左右，应该说，EDS是半定量的，也不能指望它，定性分析得了。

我這沒等離子啊﹖

我们在做金属材料成分定性分析时，也发现C的含量比较高。由于能谱的所以基本上对原子序数大于11的比较明感，所以基本上不去考虑测试出来的C含量的准确性

如果试样经硝酸酒精浸蚀，浸蚀越重测出的碳就越高。用相同的试样对碳标准化，可以解决问题。